Samsung bangun pabrik EUV baru di Hwaseong


Konstruksi akan selesai pada paruh kedua 2019 dan siap berproduksi pada 2020. Samsung bertujuan untuk mempertahankan kepemimpinannya dalam teknologi pemrosesan mutakhir di bawah 7nm.

Samsung Electronics hari ini mengumumkan bahwa mereka membuka pabrik EUV (extreme ultraviolet) baru di Hwaseong, Korea, yang bertujuan untuk mempertahankan kepemimpinannya dalam teknologi semikonduktor mutakhir. Dengan jalur EUV baru ini, Samsung akan dapat memperkuat kepemimpinannya dalam teknologi proses nanometer tunggal dengan merespons permintaan pasar dari berbagai aplikasi, termasuk mobile, server, jaringan, dan HPC (high performance computing), dimana memiliki kinerja dan efisiensi daya yang tinggi menjadi sangat penting.

Fasilitas baru ini diharapkan selesai pada paruh kedua tahun 2019 dan memulai kegiatan produksi pada tahun 2020. Investasi awal di jalur EUV baru diproyeksikan mencapai USD 6 miliar (sekitar 82 triliun rupiah) pada tahun 2020 dan investasi tambahan akan ditentukan tergantung pada kondisi pasar.


"Dengan penambahan jalur EUV baru, Hwaseong akan menjadi pusat cluster semikonduktor perusahaan yang mencakup Giheung, Hwaseong dan Pyeongtaek di Korea," kata Kim Ki-nam, President & CEO divisi Device Solutions (DS) di Samsung Electronics. "Jalur ini akan memainkan peran penting karena Samsung berusaha mempertahankan keunggulan kompetitif sebagai pemimpin industri dalam era Revolusi Industri Keempat yang akan datang."

Samsung telah memutuskan untuk memanfaatkan teknologi EUV mutakhir yang dimulai dengan proses LPP (Low Power Plus) 7-nanometer (nm). Pabrik baru ini akan disiapkan dengan peralatan litografi EUV untuk mengatasi keterbatasan teknologi nano. Samsung terus berinvestasi di R&D EUV untuk mendukung pelanggan globalnya dalam mengembangkan chip generasi mendatang berdasarkan teknologi terdepan ini.


Apa itu EUV?

Dalam industri semikonduktor, EUV mengacu pada litografi ultraviolet ekstrem, sebuah teknologi yang diharapkan dapat membawa kemajuan radikal ke salah satu langkah terpenting dalam pembuatan semikonduktor, yakni fotolitografi.

Saat memproduksi chip semikonduktor, disk bulat berbasis silikon, yang disebut "wafer" dilapisi dengan zat yang peka cahaya dan masuk ke sistem yang disebut "scanner." Di dalam scanner, sumber cahaya laser dilemparkan ke wafer untuk menciptakan pola sirkuit, yang kemudian digunakan untuk membentuk miliaran struktur kecil yang mikroskopis dan ultrafine, di dalam chip semikonduktor. Proses ini, meski dideskripsikan sangat singkat, dikenal sebagai fotolitografi (photolithography).

Dengan teknologi EUV, sistem EUV, atau scanner EUV, sekarang dapat melakukan langkah fotolitografi dengan memanfaatkan sumber cahaya dengan panjang gelombang "extreme ultraviolet". Dalam dunia manufaktur chip, mewujudkan sirkuit yang lebih baik adalah suatu keharusan, karena memungkinkan integrasi sejumlah besar komponen di dalam sebuah chip, sehingga bisa membangun chip yang lebih cepat dan lebih hemat energi.

Pemanfaatan sumber cahaya EUV akan memungkinkan untuk menentukan pola yang lebih halus dan lebih padat daripada metode sebelumnya karena panjang gelombangnya yang lebih pendek, dimana menjadi penting karena cahaya tidak dapat secara langsung menentukan fitur yang lebih kecil dari panjang gelombangnya sendiri. Scanner EUV yang akan datang akan, khususnya, memanfaatkan radiasi EUV pada panjang gelombang 13,5 nanometer, kurang dari 1/10 dari apa yang dapat diberikan oleh scanner laser ArF excimer saat ini.

Bagaimana EUV diimplementasikan?

Saat ini, chip semikonduktor digunakan di hampir semua perangkat elektronik yang bisa kita bayangkan, dan teknologi EUV akan digunakan untuk menghasilkan semikonduktor paling canggih untuk aplikasi mobile, server, jaringan dan superkomputer.

Samsung berencana untuk menggunakan EUV yang dimulai dengan proses LPP (Low Power Plus) 7-nanometer, teknologi terdepan yang diharapkan dapat diterapkan pada paruh kedua tahun 2018. Jalur fabrikasi baru Samsung di Hwaseong, yang akan siap untuk berproduksi pada tahun 2020, juga akan disiapkan dengan teknologi EUV untuk menyediakan produk semikonduktor terdepan ke pasar global.